直流高压发生器的全极性转换涉及到发电机电压降低、接地、硅堆极性开关、接地和升压等一系列过程。极性转换过程的每一步都需要大量的时间。为了缩短直流高压发生器的极性开关时间,实现快速极性开关,有必要缩短各个过程的时间。
(1)在降压过程中加快降压速度是缩短极性切换的一个方面,主要是通过增加放电电阻来加快降压速度,增加放电电阻并不增加放电电阻的总电阻,而是增加与分压器并联的具有相同电阻值的电阻的数目,柱数越大,总阻力越小,降压速度越快,同时,应考虑放电电阻的下限,因为,过小的放电电阻必然会导致器件正常运行时泄漏电流的增大。
(2)接地开关在接地过程中,试验电压接地到零值或零值需要很长时间。当直流高压发生器电压从试验值降到一定水平时,直接接地快速接地开关可以大大缩短接地开关的接地过程,然而,满足高压要求的快速接地开关能承受所有的高压和大电流,这对快速接地开关来说是极其苛刻的。
(3)简单地说,硅堆需要实现快速极性转换,以实现内部单管极性的转换。为了实现这个目标,我们必须首先考虑动机。目前,有三种简单的动力,由电动、气动和液压方式驱动,根据直流高压发生器的结构特点,高压下不可能实现电力供应。气动装置具有气缸所用的气源压缩比。如果所有的硅反应器都通过气管串联,当气体中的湿度很高时,整个设备就会从气管排出,造成设备损坏等等,液压法使用真空处理的烷基苯绝缘油不会导致排放,其次,油的压缩比远小于气体的压缩比,可以实现硅反应器的平稳极性转换,避免了其它两种方法的问题,相比之下,可以看出水力选择方法是合理的。
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